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TEM分析稳固GaN元件功能 掌握差排晶体缺陷(2)

对比前两大类半导体材料,第三类半导体氮化镓因制程原料关系,易产生大量的差排缺陷,而差排的密度和种类,又是影响元件功能的一大要素。如何解析差排类型,并将差排的密度控制在一定范围,是第三类半导体发展的重要关键。…

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